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由開山上海通用機(jī)械研究院自主研發(fā)的離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機(jī)日前在江蘇某全球領(lǐng)先的集成電路制造企業(yè)順利完成調(diào)試并投入使用,各項(xiàng)參數(shù)達(dá)到設(shè)計(jì)要求,獲得用戶好評(píng)。 眾所周知,半導(dǎo)體行業(yè)八大核心材料中,電子氣體是僅次于硅的主要原材料,其在半導(dǎo)體晶圓制造材料價(jià)值中的占比為13.5%。電子氣體在…
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